MEMS CoST（Cost Simulation Tool）：MEMS的製造成本分析工具

本工具為Yole Developpement公司及System Plus Consulting公司共同開發的MEMS製造成本分析工具。內容包括：各種製造方法的經濟實現可能性分析及與競爭企業間的成本比較分析、供應商成本分析等。MEMS CoST的概要如下所示：

MEMS CoST的功能

• 各種環境下的成本模擬分析
  • 地區
  • 無塵室等級
  • 製程類型、等
• 整合設備、晶圓、材料資料庫
• 非常大的彈性
  • MEMS CoST：使用者可在任何一個MEMS製程進入
  • 製造流程：階層式預覽模式下產生的各製造可移動・修改・刪除
  • 可保存無限次數的製程・機器類型・材料
  • 計畫管理功能：可保存・再利用任何一個使用者輸入的資料・情境設定
  • 2種計算模式：專用晶圓廠・非專用晶圓廠
  • 可同時模擬最多5種情境
  • 利用實用性高的Excel介面

MEMS CoST的用途

• MEMS機器預估
• 理解成本結構
• 競爭分析
• 各種技術選擇的成本評價
• 找出製程的成本痛點
• 定義商業模式（無晶圓廠・淡出晶圓廠・製造等）

成本分析内容範例（最多可設定比較5種情境）

• 晶圓成本内容
  • 折舊成本
  • 製造成本
  • 人事費用
  • 獲益損失
• 晶圓成本：階段別
  • DRIE
  • 犧牲層、等
• 晶圓設備成本：階段別
• 晶圓設備成本：機器類群別
  • 蝕刻
  • 堆積
  • 平板印刷術
  • 鍵合、等
• 晶圓材料成本：階段別
  • 濕式化學
  • 瓦斯
  • 濺鍍目標、等
• 晶圓材料成本：材料類群別
• 晶圓成本内容
  • 晶圓
  • 測試
  • 切割、等
• 元件成本内容
  • 晶圓成本
  • 封裝成本
  • 最終測試成本
  • 獲益損失
• 元件製造價格預估（根據製造業者公開的財務報告）