全球MEMS設備及材料市場：2009年

2009年及2010年MEMS製造工具市場將持平發展，但MEMS設備的研發將超越2011年的市場成長持續發展。MEMS設備市場預計在2012年之前達到5億美元的規模。

本報告書內容包括：設備別、應用別MEMS市場分析、產業基礎環境的創新動向、設備及材料市場預測及主要動向。包括250張以上投影片的內容綱要摘記如下：

實施概要

MEMS設備市場

MEMS製造基礎環境的發展

• MEMS製造商：主要30家
• MEMS晶圓廠：主要20家
• 8吋MEMS計畫的現況

目前發展速度最快的MEMS設備

• 針對行動電話所需的設備
• RF開關
• 環境發電

MEMS設備/材料市場預測：2008年至2012年

• 工具種類別市場預測
• MEMS晶圓廠的出貨量
• 6吋晶圓廠及8吋晶圓廠的出貨量
• 針對MEMS市場的化學品預測

MEMS製造：動向・企業・市場

• 整合感應器市場：MEMS及IC的技術動向
• DRIE
• 犧牲層蝕刻
• 堆積及清洗
• 結合
• 平版印刷
• MEMS on IC
• 規格
• TSV（Through-Silicon Via）
• CAD工具測試

MEMS材料市場

• Si晶圓
• SOI晶圓
• 光罩
• 化學品

結論