本報告書內容包括：MEMS應用領域目前的市場動向及成長預測、製造過程及材料、設備相關詳細介紹。包括60張圖表的內容綱要摘記如下：
實施概要
第1章 介紹
第2章 MEMS市場概要
- MEMS需求快速增加
- 2007年至2012年的平均成長率為17%
- 消費者刺激成長腳步加快
- 應用
- 消費者市場成長
- 前30大MEMS製造商
第3章 MEMS製程概要
- 技術
第4章 MEMS的應用：動向及機會
- 噴墨頭
- 壓力感應器
- 矽麥克風
- 加速度計
- 陀螺儀
- MOEMS、微型幅射熱測定計及微顯示器
- 微流體
- RF MEMS設備：濾器、開關、振盪器
- 微晶片
- 新興MEMS
第5章 MEMS設備及材料：動向及機會
- 概要
- 蝕刻
- 蒸鍍
- 平版印刷術
- 晶圓堆疊
- 晶圓洗淨
- 晶圓薄膜化及扁平化
- 測量
- 包裝
- 測試
- 材料
