專門於多種先進產業相關策略性調查的美國市調公司 Technical Insights, Inc. （總公司：Texas State），針對在產業自動化領域中MEMS感測器及驅動器的影響進行調查分析，並出版經系統整理的報告書 "Impact Analysis of MEMS-Based Sensors and Actuators on Industrial Automation" 。
本報告書內容包括：MEMS技術的發展趨勢及在產業自動化領域中的應用情況、各種微機電製造技術、MEMS技術及應用、 技術採用對市場的影響及市場發展因素・好處、全球企業・大學的開發實例等。內容綱要摘記如下：
第1章 實施概要
- 調查範圍・調查方法
- 主要調查結果
- 技術概要
- 主要技術・技術創新
- 分析員的觀察
第2章 微機電製造
- 技術概要
- 微機電製造概要
- 微機電製造的重要性
- 體型微機電製造
- 概要
- 微機電表面細微加工
- LIGA加工
- 概要
- 電鍍
- SLIGA加工
第3章 MEM技術及應用：概要
- MEMS感測器
- 技術概要
- 壓力感測器
- 加速度計
- 迴轉儀
- 瓦斯感測器
- 接近感測器/位置感測器
- 流量感測器
- 濕度・溫度・熱感測器
- 機械應力感測器
- 聲波感測器
- MEMS驅動器
- 技術概要
- 微型馬達
- 微幫浦
- 微型閥
- 微渦輪機
- 微鏡面
- MEMS驅動器類型・實驗室晶片系統
第4章 技術影響・採用要因分析
- 技術影響分析
- MEMS vs 傳統型技術
- 技術發展藍圖
- 技術特徵・好處・趨勢
- 技術採用要因分析
- 促進技術發展因素
- 阻礙技術發展因素
第5章 全球技術發展
- MEMS感測器的發展趨勢
- MEMS驅動器的發展趨勢
第6章 微機電工具&加工的創新發展趨勢
- 大學的研究
- 企業的研究
第7章 財務分析・全球發展趨勢評價
- 創投基金・公共領域・企業的資金提供：SWOT分析
- 全球技術創新評價
第8章 專利：專利分析・主要聯絡對象
- 專利分析
- 主要企業資料庫
