裝置範疇
- 整體裝置
- 光罩／圖罩裝置
- 晶圓製造裝置
- 晶圓加工裝置
- 曝光＆顯影裝置
- 光阻加工裝置
- 蝕刻裝置
- 表面處理／洗淨•乾燥裝置
- 熱處理裝置
- 離子注入裝置
- CVD裝置
- 沖淋裝置
- 其他蒸著裝置
- 檢查•測定裝置
- CMP裝置
- 其他晶圓加工裝置
- 組裝•包裝裝置
- 晶圓生產設備
- 整體實驗裝置
- SOC＆邏輯實驗裝置
- 記憶體實驗裝置
- 操作裝置
- 實驗相關
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| 產業/市場分類 |
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英文調查報告書
全球半導體裝置市場統計：1991年至2008年Worldwide Semiconductor Equipment Market Statistics (WWSEMS) Historical Report (1991-2008)
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