TSV+：3D TSV分析製造成本的成本模式工具：資料庫

本資料庫是介紹在一定的TSV製程下分析製造成本的成本模式工具，內容包括有益於TSV選擇的經濟可行性分析的各種資料。內容綱要摘記如下：

資料庫内容

• 製程圖：利用機器類型・步驟數
  • 微影術
  • 蝕刻
  • 堆疊
  • 鏈合、等
• 晶圓廠資料
  • 年度生產量
  • 地區範圍
  • 機器折舊
• 每台機器的資料
  • 每個晶圓的製程時間
  • 每個晶圓的作業時間
  • 機器價格
  • 消費量（電力等）
  • 每個晶圓的消費財（研磨液等）
• 3D堆疊的TSV成本結構詳細内容、等