本報告書內容包括：薄膜材料技術領域的重要新技術開發及產業動向等。內容綱要摘記如下：
第1章 實施概要
- 調查範圍及調查方法
- 調查範圍
- 調查方法
- 概要
- 薄膜材料技術介紹
- 新應用及主要研究成果
第2章 技術及應用的觀點
- 薄膜氣相沈積技術介紹
- 化學氣相沈積（CVD)技術
- 物理氣相沈積（PVD)技術
- 應用分析
- 醫療
- 能源
- 電子工學
- 其他應用
第3章 技術採用因素分析
- 促進因素及課題分析
- 促進因素
- 課題
- 產業動向分析
- 產業動向現況
- 技術藍圖
第4章 值得矚目的研發工作
- 醫療
- 基因治療用超極薄膜
- 經口薄膜投藥新技術
- 使形成電力促動器設備運作的人工肌肉薄膜
- 能源
- CuInSe2薄膜的電鍍法在太陽電池上的應用
- 高成本效益的CDTE/CDS薄膜太陽電池－替代矽製太陽設備
- 高性能薄膜太陽電池
- 電子工學
- 將氧化鋅薄膜安全鍍到感溫基質上的新技術
- 利用氫化非晶矽的薄膜電晶體
- 利用MEMS的感測器及開關用薄膜
- 在其他產業中的應用
- 切削工具及機械設備中的PVD薄膜塗層技術
- 薄膜光學塗層
第5章 主要專利及主要企業・研究機構
- 專利
- 美國的專利
- 其他地區的專利
- 主要企業・研究機構
- 大學
- 企業
