近年來MEMS（微電機系統）技術有了顯著的發展，並且也可以運用在高頻率無線（RF）技術上。儘管RF MEMS裝置已成為市場矚目的焦點，但是為了擴展該市場的規模，各家廠商必須設法解決製品信賴性及封包等核心問題。
在成長顯著的市場領域裡，專門提供早期且迅速情報的美國市調公司 Technical Insights, Inc.（總公司:紐約），調查與分析RF MEMS技術，並有系統地出版綜合報告書“RF MEMS--A Technology Analysis”。
此報告書在下面的內容裡，除了詳盡地分析RF MEMS的新興技術及有可能性的適用領域，另外也說明全球研究開發的傾向等。
1. 摘要
2. RF MEMS：無線通訊領域的革命
- 導入：技術與潛在力的分析
- RF MEMS：鳥瞰性分析
- MEMS技術對RF及系統解決方略的適應性
- RF MEMS裝置的封包
- 設計上的課題
- 適用可能性的分析
- RF MEMS的適用可能性
- RF MEMS技術的發展與無線／行動電話
- 無線RF MEMS的相關項目
- 通訊領域上RF MEMS開關的適用
- 其他RF MEMS適用市場
- RF MEMS產業的活動及出資活動
- RF MEMS產業的活動
- 特定出資與產業開發
3. 技術促進與課題
- 技術促進要素與阻礙要素
- 技術導入促進要素
- 技術導入阻礙因素
- 課題
- 技術面課題
- 商務面課題
4. 技術革新的最前線：北美
- 大學研究
- RF用途的MEMS微動繼電器
- RF MEMS可調式濾波器
- 利用FPC技術的RF MEMS開關
- 生物•化學物質的檢出
- 低損失的RF MEMS濾波器
- RF MEMS共振器樣式
- 封包的技術革新
- 企業研究
- 低損失的RF MEMS濾波器
- 行動電話用RF MEMS開關
- RF MEMS開關用矽封包
- 提高輪箍安全性的Motorola感應器
- 採用微細加工技術的RF MEMS生產平台
5. 技術革新的最前線：亞洲•歐洲
- 大學研究
- 擁有CMOS互換性的RF MEMS開關
- RF MEMS裝置整合的材料特性
- RF MEMS裝置的計測與電力操作的新手法
- 使用在無線通訊製品的RF MEMS開關
- RF MEMS取向的超小型共振器
- RF MEMS裝置所使用的矽氮化物
- 企業研究
- MEMS適用領域的SOI
- RF MEMS開關用PZT分流器
- 適用RF MEMS的X-Band對應開關
- RF MEMS開關用的平價膜
6. 專利與聯絡處
- 專利的詳細內容（北美／亞洲及歐洲）
- 公開專利公報（全球）／研究機關的聯絡處
