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由於設備成本高漲以及傳統半導體製造的微影技術所無法處理的先進技術的抬頭，半導體製造設備企業正處於十分嚴峻的情況下。在性能、消費電力及其他方面上相當卓越的奈米材料與奈米科技（Nanotechnology）平台也可以考慮當作替代技術，但是由於其商業化的成本過高、有相當的風險，因此需要充分的研商以及探討。
專研通訊、IT、半導體、生技醫藥、能源等領域之奈米科技影響的美國專業公司 NanoMarkets （總公司：維吉尼亞州），調查與分析奈米科技對於半導體製造設備市場的影響，並有系統地出版綜合報告書“The Impact of Nanotechnology on the Semiconductor Manufacturing Equipment Market”
此報告書在下面的內容裡，除了探討奈米科技在半導體製造設備市場內的市場機會的相關定量分析，也說明主要企業、市場成功的策略分析、至 2012 年前的市場預測等。
摘要
第 1 章 序論
- 本調查背景
- 調查目的
- 調查範圍
- 調查手法
- 報告書刊載情報
- 報告書計畫
第 2 章 製造課題與機會
- 摩爾定律與誇克鱗狀剝落的問題
- 應考慮事項
- 時間尺度
- 架構問題
- 製造成本
第 3 章 新奈米製造技術
- 替代微影系統技術與市場評價
- 濕浸式微影技術
- EUV（超紫外線）微影技術
- EPL（電子束）微影技術
- 奈米轉印微影技術
- 直接描繪
- 沉積與自己集合
- 其他研究
第 4 章 新材料與需求
- 說明
- 矽的替代材料
- 低介電率（Low-k）與高介電率（High-k）材料
- 碳奈米管與奈米線
- 自旋電子
- Molectronics（分子電腦）
- 塑膠電子/有機電子
- 量子點
第 5 章 新世代製造設備的8年內預測
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