奈米技術工具及機器設備包含了以奈米單位來測定結構並進行操作的顯微鏡、探測儀器、露光技術系統、加工系統、軟體與應用元件等。然而，奈米單位的機器設備史相當短淺，奈米技術專用設備也相當少，大多數都是由半導體及晶片製造產業開發而成的。
以調查各行業成長市場之策略調查為專業領域的市調公司 Business Communications Company, Inc. (總公司: 康乃迪克州) ，針對美國與世界的奈米技術工具及機器設備市場進行調查與分析，並出版歸結預測結果的報告書 "Tools and Instrumentation for Nanotechnology" 。
在該報告書中，包含了奈米技術工具及機器特色的技術概要、包含主要企業檔案的設備產業、業界結構、各機器設備市場的概要與預測、專利及智慧財產權的相關問題，及八十家以上奈米技術設備領域廠商一覽表，各章節摘要如下。
前言
摘要
奈米技術工具與機器設備的歷史與現狀
- 掃描式電子顯微鏡（SEM）
- 掃描式探測顯微鏡
- 原子力顯微鏡（AFM）
- 掃描穿隧顯微鏡（STM）
- 掃描式近場光學顯微鏡（NSOM）
- 奈米露光技術
- 光阻蝕劑奈米露光技術
- 電子光束奈米露光技術
- 臭氧光束奈米露光技術
- 奈米處理與奈米加工
- 相似性
- 探測、晶片
產業結構
- 概要
主要工具與機器設備的市場分段
- 概要
- 市場的現狀（價格、市場規模）
- 顯微鏡市場
- 奈米露光技術
- 奈米處理與奈米加工
- 技術開發
- 模擬與繪圖工具
- 探測、晶片、零組件
專利、智慧財產權相關課題及分析
- Veeco Instruments, Inc. 對 V. Asylum Research, Inc.
- 專利動向
